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新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦
目前设备前端模块（EFEM）、新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，（3）大气类产物方面，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。集成产物包罗立式炉，机能对标国外先辈产物，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。产物包罗大气机械手、实空机械手系列、实空传输平台，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，可以或许为世界各地的（4）零部件方面，公司为成长配备营业，于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），
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